单个元件的泄漏量检测---二

3.氦质谱检测法
  检测原理：用氦气做为示漏的气体，冲入被检元件内，并将被检件置于真空容器中，若发生泄漏，氦元素便通过真空容器被质谱检漏仪测到，通过测量氦元素计算泄漏量。氦质谱检测法精度较高，一般用于密封要求苛刻的场合。
  一种真空罩氦质谱检测法，被检元件与氦气源相连，并将被检元件放入真空罩中，真空罩和辅助泵、检漏仪相连。先用辅助泵将真空罩抽成低真空，再关小辅助泵阀门，打开检漏仪阀门，使检漏仪运行在工作状态；打开氦气源阀门，向被检元件内冲入氦气，如元件有泄漏，检漏仪便给出指示。总漏率的确定可以用标准泄漏仪对比法。
4.各检测方法的性能对比
  显然，气泡渗漏法是最通用的一种检测手段，但其精度和自动化程度都很低，批量检测时效率低；氦质谱法虽然精度高，但成本也很高，用于特殊场合；综合各方面性能对比，对单个元件的泄漏量检测，首先推荐绝对压力法和差压法。




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